半導(dǎo)體晶圓圓心同心度、缺角定位
行業(yè)痛點(diǎn)與需求
應(yīng)?場景：在芯?封測環(huán)節(jié)，需要對晶圓進(jìn)?定?檢測和晶圓缺?檢測，以定位晶圓圓?和晶圓?向。晶圓中?和缺?位置定位準(zhǔn)確，可以提?晶圓切割準(zhǔn)確度，從?提?芯??產(chǎn)良品率。
解決?案：采?深視SE1系列?精度邊緣測量傳感器，在晶圓邊緣位置對射安裝，當(dāng)晶圓旋轉(zhuǎn)時，糾偏傳感器 通過測量數(shù)據(jù)計(jì)算圓?位置，然后通過機(jī)械?或者執(zhí)?機(jī)構(gòu)將晶圓中?移動到旋轉(zhuǎn)軸的中?；晶圓圓?對準(zhǔn)后， 再次旋轉(zhuǎn)，糾偏傳感器對晶圓缺?定位，定位到缺?位置后執(zhí)?機(jī)構(gòu)將缺?轉(zhuǎn)動到指定的?度。
相機(jī)選型
| 傳感頭主要技術(shù)指標(biāo) | |
| 測量范圍 | 邊緣：±5mm |
| 收發(fā)頭距離 | 最大 300mm |
| 光源 | 半導(dǎo)體紅色激光 |
| 線性度 | 收發(fā)頭距離 100mm 時：±0.4%F.S. （±40μm） |
| 重復(fù)精度 | 2μm |
| 響應(yīng)時間 | 250μs |
| 接口 | RS485 |
| 環(huán)境溫/濕度 | -20℃～+50℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 儲存溫/濕度 | -40℃～+70℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 防護(hù)等級 | IP67 |
| 外殼材料 | 鋁合金 |
| 尺寸 | 21mm×61mm×10.6mm |
| 控制器主要指標(biāo) | ||
| 型號 | SEA-DM2-A/V | SEA-DM2 |
| 傳感頭連接數(shù)量 | Max. 2 對傳感頭 | Max. 2 對傳感頭 |
| 傳感頭連接方式 | M8 6 針連接器 | M8 6 針連接器 |
| 傳感頭通信方式 | RS-485（電纜線最長 20m） | RS-485（電纜線最長 20m） |
| 顯示測量值 | TFT 屏 | TFT 屏 |
| 顯示指示燈 | 電源指示燈：綠；輸出指示燈：紅 | 電源指示燈：綠；輸出指示燈：紅 |
| I/O 外部輸入 | 1 路（同時對傳感頭通道 1/通道 2 有效） | |
| I/O 開關(guān)量輸出 | 2 路輸出 PNP/NPN 可選 集電極開路 Max. 100mA/DC 24V 殘留電壓 1.8V 以下 | |
| I/O 模擬量輸出 | 2 路輸出 模擬量電流/電壓可選，電流：4～20mA（最大負(fù)載300Ω）或電壓：0～10V（輸出電阻100Ω） | |
| 防護(hù)等級 | IP50 | IP50 |
| 使用環(huán)境 溫/濕度 | -20℃～+50℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） | -20℃～+50℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 存儲環(huán)境 溫/濕度 | -20℃～+70℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） | -20℃～+70℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 安裝方法 | DIN 導(dǎo)軌安裝設(shè)置 | DIN 導(dǎo)軌安裝設(shè)置 |
| 外殼材質(zhì) | PC+玻纖 | PC+玻纖 |
| EtherCAT 通訊單元技術(shù)指標(biāo) | |
| EtherCAT 節(jié)點(diǎn)間距離 | Max. 100m |
| EtherCAT 傳輸速度 | 100Mbps |
| EtherCAT 對應(yīng)功能 | 過程數(shù)據(jù)通信，信箱通信 |
| 連接傳感器可連接機(jī)型 | 控制器 SEA-DM2 |
| 連接傳感器可連接個數(shù) | 最大 8 個控制器（16對傳感頭） |
| 連接傳感器可連接形式 | 10 針連接器 |
| PDO 通信 數(shù)據(jù)傳輸 | 支持 |
| SDO 通信 數(shù)據(jù)傳輸 | 支持 |
| 使用環(huán)境 溫/濕度 | -20℃～+50℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 存儲環(huán)境 溫/濕度 | -40℃～+70℃/35～85%RH（無凝露結(jié)冰） |
| 防護(hù)等級 | IP50 |
| 安裝 | 35mm DIN 導(dǎo)軌（可導(dǎo)電） |
| 外殼材質(zhì) | PC+玻纖 |
| 糾偏傳感器型號說明 | |
| 發(fā)射傳感頭 | SE1-010K4-T |
| 接受傳感頭 | SE1-010K4-R |
| 控制器 | SEA-DM2-A/V；SEA-DM2 |
| EtherCAT 通用通信模塊 | SU1-EC |
| 2m 長 Y 型線纜 | SCB-EY-HA3-2m |
| 5m 長 Y 型線纜 | SCB-EY-HA3-5m |
| 5m 長延長線纜 | SCB-EF-HA3-5m |